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膜厚仪维修校准操作的三种方法

时间:2017-11-21 点击次数:2994
  膜厚仪维修校准操作的三种方法
  
  膜厚仪维修不必每次使用前都做校准。但是,当基体材料改变时及试样形状改变时,都要进行一次校准。校准时要使用没有涂层的基试块和已知厚度值的标准片,基体和标准生要求表面清洁、平整。
  
  1、膜厚仪维修校准有以下三种方法:
  
  (1)探头远离基体(>15mm),按下CAL键,显示器出现提示“ZERO”、显示值“0.0”。
  
  (2)在基体上测量5-10次,显示零点测量结果的平均值。
  
  (3)连续按下两次CAL键,仪器接受新的零点,退出校准状态,显示“0”,进入测量状态。
  
  2、膜厚仪维修多点校准(用基体和标准片校准)
  
  (1)将探头远离基体,按CAL键,提示“ZERO”,显示“0.0”。
  
  (2)在基体上测量5-10次,显示零点测量结果的平昀值。
  
  (3)按CAL键,仪器自动校准零点。提示“STD1”,显示“0.0”。
  
  (4)取*标准片,放在基体上,测量5-10次,显示该标准片测量结果的平均值。
  
  (5)按△或▽键,使显示值与标准片厚度值相等。
  
  (6)按CAL键,仪器存入该校准值后,提示“STD2”显示“0.0”
  
  (7)重复(4)-(6)的操作,校准其它两个标准片。尔后,仪器退出校准状态,显示“0”,进入测量状态。
  
  3、膜厚仪维修特性校准(用已知厚度的参考试样和标准片校准)
  
  (1)探头远离参考试样,按下CAL键,提示“ZERO”,显示“0.0”。
  
  (2)按下CAL键,提示“STD1”,显示“0.0”。
  
  (3)在参考试样上测量5-10次,显示该试测量结果的平均值。
  
  (4)按△或▽键,使显示值与参考试样厚度值相同。
  
  (5)按CAL键,仪器存入该校准值后,提示“STD2”,显示“0.0”。
  
  (6)取*标准片,放在参考试样上,测量5-10次,显示测量结果一平均值。
  
  (7)按△或▽键,使显示值等于参考试样厚度值与标准片厚度值之和。
  
  (8)按CAL键,仪器存入该校准值后,提示“STD3”显示“0.0”。
  
  (9)取第二标准片,放在参考试样上,测量5-10次,显示出测量结果的平均值。
  
  (10)按△或▽健,使显示值等于参考试样厚度值与第二标准片厚值之和。
  
  (11)按CAL键,校准结束,显示“0.0”仪器进入测量状态。

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